医疗UVC用氮化铝陶瓷零部件

氮化铝陶瓷
氮化铝陶瓷

氮化铝具有电绝缘性和优异的导热性,对于需散热的应用而言,它是理想之选。此外,由于其热膨胀系数接近硅,且具有优异的等离子体抗性,可被用于制造半导体加工设备部件。

等离子体阻抗
导热性强
热均匀性

高纯度、优异的等离子体阻抗和防卡紧特性适合广泛的温度范围。

氮化铝陶瓷件
氮化铝陶瓷件

应用领域
适用于生产化合物半导体单晶的坩埚
作为高频声表面波装置的基板
高纯度氮化铝薄膜的射靶
红外线和微波窗户材料

材料特性  

95氧化铝陶瓷 99氧化铝陶瓷 氧化锆陶瓷 碳化硅陶瓷 氮化硅陶瓷 氮化铝陶瓷 可加工陶瓷
颜色 白色 淡黄色 白色 黑色 黑色 灰色 白色
密度 g/cm3 3.7g/cm3 3.9g/cm3 6.02g/cm3 3.2g/cm3 3.25g/cm3 3.2g/cm3 2.48g/cm3
吸水率 0 % 0 % 0 % 0 % 0 % 0 % 0 %
硬度(HV) 23.7 23.7 16.5 33 20
抗弯强度(MPa) 300MPa 400MPa 1100MPa 450MPa 800MPa 310MPa 91MPa
抗压强度(MPa) 2500MPa 2800MPa 3600MPa 2000MPa 2600MPa 340MPa
杨氏弹性模量 300GPa 300GPa 320GPa 450GPa 290GPa 310~350GPa 65GPa
泊松比 0.23 0.23 0.25 0.14 0.24 0.24 0.29
热导率 20W/m°C 32W/m°C 3W/m°C 50W/m°C 25W/m°C 150W/m°C
1.46W/m°C
 介电强度 14KV/mm 14KV/mm 14KV/mm 14KV/mm 14KV/mm 14KV/mm 14KV/mm
体积电阻率(25℃) >1014Ω·cm >1014Ω·cm >1014Ω·cm >105Ω·cm >1014Ω·cm >1014Ω·cm >1014Ω·cm

  本数据为实验室测试典型值,具体生产批次的实际特性可能会有所变化。